藍(lán)寶石長晶爐和半導(dǎo)體長晶爐 , 長晶爐常用的德國DIAS紅外測溫儀
●發(fā)布時(shí)間：2019-9-19 ●
●信息來源：上海皇龍自動(dòng)化工程有限公司 ●作者：站長
藍(lán)寶石(Sapphire)是一種氧化鋁(Al2O3)的單晶，光學(xué)穿透帶很寬，從近紫外光(190nm)到中紅外線都具有很好的透光性。藍(lán)寶石晶體具有優(yōu)異的光學(xué)性能、機(jī)械性能和化學(xué)穩(wěn)定性，強(qiáng)度高、硬度大、耐腐蝕，可在接近2000℃高溫的惡劣條件下工作，因而被廣泛的應(yīng)用于紅外軍事裝置、衛(wèi)星空間技術(shù)、高強(qiáng)度激光的窗口材料。其獨(dú)特的晶格結(jié)構(gòu)、優(yōu)異的力學(xué)性能、良好的熱學(xué)性能使藍(lán)寶石晶體成為實(shí)際應(yīng)用的半導(dǎo)體GaN/Al2O3發(fā)光二極管(LED)，大規(guī)模集成電路SOI和SOS及超導(dǎo)納米結(jié)構(gòu)薄膜等最為理想的襯底材料。隨著近年來LED TV、LED Monitor、LED NB、LED Phone及LED照明市場的持續(xù)高速增長，強(qiáng)勁推動(dòng)了用于制作LED基材的藍(lán)寶石市場的需求擴(kuò)張。
優(yōu)點(diǎn)：
- 藍(lán)寶石襯底的生產(chǎn)技術(shù)成熟、器件質(zhì)量較好
- 藍(lán)寶石的穩(wěn)定性很好，能夠運(yùn)用在高溫生長過程中
- 藍(lán)寶石的機(jī)械強(qiáng)度高，易于處理和清洗
常用晶體生長方法:
- Czochralski Method (柴氏拉晶法，又稱為提拉法)：Pull from the melt.
- Kyropoulos Method (凱氏長晶法，又稱為泡生法): Dip and turn.
- 溫度梯度法(TGT法)
- EFG Method (導(dǎo)模法，Edge Defined Film-fed Growth): Pull through die.
- 熱交換法(Heat Exchange Method，HEM)
- 垂直水平溫度梯度冷卻法(Vertical Horiaontal Gradient Freezing，VHGF): 韓國Sapphire Technology Company (STC)技術(shù)。
- ES2-GSA長晶法：美國Rubicon Technology Inc.技術(shù)。
長晶爐常用的德國DIAS紅外測溫儀和紅外熱像儀
1、低價(jià)格單色紅外測溫儀DG42N(250~1800°C)
2、低價(jià)格雙色紅外測溫儀DSR44N(700~3000°C）
3、雙色紅外測溫儀DSR56N及DSR56NV(500~3000°C)
4、雙色紅外測溫儀DSR55N或DSR55NV(500~3000°C)
5、短波高溫紅外熱像儀PYROVIEW 768N compact+ (600~3000°C)
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